产品名称:LUMENTUM调Q激光器Q-Series
产品型号:Q301-HD-1000R,Q302-HD-1000R,Q303-HD-1000R,Q304-HD-1000R
产品介绍
Lumentum Q 系列激光器用于各种高精度微加工应用的高功率 Q 开关二极管泵浦紫外和绿光激光器市场。无论是对陶瓷等材料进行高脉冲能量处理、对蓝宝石或硅等材料进行高重复率处理,还是对薄膜太阳能电池进行图案化,Q 系列激光器都能提供高性能和正常运行时间。
性能特点
l 高的商用脉冲能量和峰值功率
l 由于*特的腔内谐波产生实现了能量稳定性,因此更严格的过程控制
l 由于脉冲能量、脉冲宽度和重复频率的选择范围广,因此能够处理广泛的材料
l 由于谐波晶体中的低能量密度和暴露于紫外线的无腔光学涂层,可靠性高
l 提供 355 和 532 nm 输出
l 可根据要求定制
选型指南
可选功能与配件
Q-PS-1000R:标准电源
Q-PS-A30R:3 米柔性脐带电缆
Q-PS-A50R:5 米柔性脐带电缆
Q-PS-A70R:7 米柔性脐带电缆
Q-PS-A100R:10 米柔性脐带电缆
QA-CH:标准 110 VAC
QA-CH-E:欧洲 220 VAC
QA-CH-A11:一对 3 m 软管,直/直接头
QA-CH-A12:一对 5 m 软管,直/直接头
QA-CH-A21:一对 3 m 软管,直角/直型接头
QA-CH-A22:一对 5 m 软管,直角/直型接头
QA-CH-A31:一对 3 m 软管,直角/直角接头
QA-CH-A32:一对 5 m 软管,直角/直角接头
技术参数
波长:355 纳米
较化:>100:1
空间模式 TEM00
M-平方:<1.2
腰部位置(内部,从光束出口):42±0.4 cm
腰部直径 1/e:0.26 mm 标称
光束圆度:>85% 圆形
光束发散角,全角:1.8±0.35 mrad
(Q304-HD-1000R:2.0±0.35 mrad)
光束指向漂移,全角:<10 μrad/°C
指向漂移,**过 8 小时,全角度:2 <50 μrad
光束位置精度,单位到单位:从标称<2.5 mm
光束指向精度,单位到单位:从标称<1°
控制器重复率
内部触发:1 kHz 至 250 kHz
外部触发:0 至 250 kHz
8 小时内的功率漂移: <±2%
热身时间
从冷启动:<20 分钟
从待机:<10 分钟
工作环境温度:15 至 35°C
相对湿度,非冷凝:10 至 80%
重量:14.5 公斤
产品应用
晶圆划线
全切割晶圆切割
低k介电开槽
硅、蓝宝石、陶瓷和金属的微加工
微孔钻孔
PCB和柔性板切割
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