6月带着憧憬与期待，在重庆这片沃土上与我们相遇，未来，初心依旧。*四届**半导体产业（重庆）博览会（简称“GSIE 2022”），将于2022年6月29日-7月1日在重庆国际博览中心举办。
鹏城半导体技术（深圳）有限公司（简称“鹏城半导体”）本次携多功能磁控溅射仪解决方案、分子束外延薄膜生长设备（MBE）解决方案、热丝CVD金刚石解决方案等多个解决方案亮相本次展会。一起来先读为快吧。
多功能磁控溅射仪解决方案：
多功能磁控溅射仪是用磁控溅射的方法，制备金属、合金、化合物、半导体、陶瓷、介质复合膜及其它化学反应膜等；适用于镀制各种单层膜、多层膜、掺杂膜系及合金膜；可镀制磁性材料和非磁性材料。
设备关键技术特点
秉承设备为工艺实现提供实现手段的理念，我们做了如下设计和工程实现，实际运行效果良好，为用户的**工艺实现提供了精准的工艺设备方案。
靶材背面和溅射靶表面的结合处理
-靶材和靶面直接做到面接触是很难的，如果做不到面接触，接触电阻将增大，导致离化电场的幅值不够（接触电阻增大，接触面的电场分压增大），导致镀膜效果不好；电阻增大导致靶材发热升温，降低镀膜质量。
-靶材和靶面接触不良，导致水冷效果不好，降低镀膜质量。
-增加一层特殊导电导热的软薄的物质，保证面接触。
距离可调整、角度可调、集成一体化柜式结构、采用计算机＋PLC两级控制系统、工艺气体采用匀气技术，气场更均匀，镀膜更均匀。基片加热技术
采用铠装加热丝，由于通电加热的金属丝不暴露在真空室内，所以高温加热过程中不释放杂质物质，保证薄膜的纯净度。铠装加热丝放入均温器里，保证温常的均匀，然后再对基片加热。
真空度更高、抽速更快
真空室内外，全部电化学抛光，完全去除表面微观毛刺丛林（在显微镜下可见），没有微观藏污纳垢的地方，腔体内表面积减少一倍以上，镀膜更纯净，真空度更高，抽速更快。
设备主要技术指标
-基片托架：根据供件大小配置。
-基片加热器温度：根据用户供应要求配置，温度可用电脑编程控制，可控可调。
-基片架公转速度 ：2 ～100 转 / 分钟，可控可调；基片自转速度：2 ～20 转 / 分钟。
-基片架可加热、可旋转、可升降。
-靶面到基片距离： 30 ～ 140mm 可调。
-Φ2 ～Φ3 英寸平面圆形靶 2 ～ 3 支，配气动靶控板，靶可摆头调角度。
-镀膜室的极限真空：6X10-5Pa，恢复工作背景真空 7X10-4Pa ，30 分钟左右（新设备充干燥氮气）。
-设备总体漏放率：关机 12 小时真空度≤10Pa。
热丝CVD金刚石解决方案
研发设计制造了热丝CVD金刚石设备，分为实验型设备和生产型设备两类。
设备主要用于微米晶和纳米晶金刚石薄膜、导电金刚石薄膜、硬质合金基金刚石涂层刀具、陶瓷轴承内孔镀金刚石薄膜等。例如可用于生产制造环保领域污水处理用的耐腐蚀金刚石导电电极。
可用于平面工件的金刚石薄膜制备，也可用于刀具表面或其它不规则表面的金刚石硬质涂层制备。
平面工作尺寸
圆形平面工作的尺寸：较大φ650mm。
矩形工作尺寸的宽度600mm/长度可根据镀膜室的长度确定（如：工件长度1200mm）。
配置冷水样品台。
热丝电源功率
可达300KW，1KW ～300KW可调（可根据用户工艺需求配置功率范围）
设备安全性
-电力系统的检测与保护
-设置真空检测与报警保护功能
-冷却循环水系统压力检测和流量检测与报警保护
-设置水压检测与报警保护装置
-设置水流检测报警装置
分子束外延薄膜生长设备(MBE) 解决方案
分子束外延薄膜生长设备（MBE)（分子束外延MBE）该设备可以在某些衬底材料上实现外延生长工艺，实现分子自组装、**晶格、**阱、一维纳米线等。可以进行*二代半导体和*三代半导体的工艺验证和外延片的生长制造。
分子束外延薄膜生长设备在薄膜外延生长时具有**高的真空环境，是在理想的环境下进行薄膜外延生长，它可以排除在薄膜生长时的各种干扰因素，得到理想的高精度薄膜。
我公司设计制造的分子束外延薄膜生长实验设备，分实验型和生产型两种 ，配置合理，结构简单，操作方便，技术先进，性能可靠，用途多，实用性强，价格相对较低，可供各大学的实验室及科研机构作为分子束外延方面的教学实验、科学研究及工艺实验之用。生产型MBE可用于小批量外延片的制备。
本项目于2005年在国内率先完成了成套MBE的全国产化研发设计和制造，做到自主可控。自主设计MBE**高真空外延生长室、工艺控制系统与软件、RHEED原位实时在线监控仪、直线型电子枪、高温束源炉、束源炉电源、高温样品台、膜厚仪（可计量外延生长的分子层数）等核心部件。
可实现*二代半导体（如砷化镓等）和*三代半导体（如碳化硅和氮化镓）的外延生长。
经过十几年的工艺探索， 设备设计不断升级， 已具备设计制造生产型 MBE设备的能力。
设备配置合理，结构简单，技术先进，性能可靠，用途多，实用性强， 性能价格比高。
展馆平面图
鹏城半导体技术（深圳）有限公司
展期时间：2022年06月29日-07月01日
展位号：S1馆-A91
地点：重庆国际博览中心
鹏城半导体技术（深圳）有限公司专注于PVD镀膜设备,化学气相沉积C,金刚石涂层,分子束外延MBE等