扫描电子显微镜因其分辨率高、景深大、图像*富立体感、放大倍数可调范围宽等优点而被广泛应用于半导体、无机非金属材料及器件等的检测。随着我国经济的*发展，高校、科研单位、企业等大量引进了场发射扫描电子显微镜。但是在扫描电子显微镜的使用过程中，特别是在安装初期，使用者通常由于对电镜的运行状态缺乏系统认识，经常会遇到软件死机、样品台被卡、真空问题等多种故障。解决方式一般为请维修工程师上门维修，除花费时间和费用外，也造成了对电镜操作者的心里束缚。笔者以德国蔡司ULTRA PLUS扫描电子显微镜为例，从环境条件、光学系统、真空系统及附件设施4个方面总结了热场发射扫描电子显微镜运行状态的几种检查方法和维护保养经验，并结合故障实例进行了分析。
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