超声波脱气能够分为三个阶段：
空化气泡成核阶段；
气体分子从溶液中到气泡的扩散产生的生长阶段；
气泡聚集形成大气泡的阶段；
大气泡漂浮到液体表面崩溃的逸出阶段
超声波作用时，溶液中气体成分可通过气-液界面“定向扩散”进入空化气泡，空化气泡进人生长阶段，当空化气泡在溶液表面崩溃时，气体会从气泡中逸出，这就造成了脱气作用。
超声波作用时，溶液中气体成分可通过气-液界面“定向扩散”进入空化气泡，空化气泡进人生长阶段，当空化气泡在溶液表面崩溃时，气体会从气泡中逸出，这就造成了脱气作用。
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