等离子清洗机中形成的等离子体拥有与众不同的物理学和**化学特性，可以用以等离子清洗、低温等离子活性、低温等离子离子注入和低温等离子堆积等加工工艺。实际有什么特性呢？
1、电子温度高，颗粒机械能大。
2、做为自由电子的集聚态，具备类似金属材料的导电率能。
3、物理性质开朗，很容易产生化学变化，例如等离子体除去**化合物。
4、闪光特性，可以做各种各样灯源。例如彩灯、液态水银日日光灯全是等离子体闪光的状况。
液态水银日日光灯等离子体等离子清洗机中形成的等离子体之所具备以上特性，是由于等离子体内部电子和汽体分子间的碰撞。大家以象2一样的电子碰撞双分子分子XY为例子开展表明。若碰撞动能小，则会产生延展性碰撞，电子的机械能几乎始终不变。假如碰撞动能很高，分子中绕核健身运动的低要电子，便会在碰撞中获取非常高的动能，被激起至离核很远的高电子能级路轨上健身运动。
大家把等离子清洗机中这类处在高电子能级情况的分子称之为高自旋分子,用XY*表明。高自旋分子中的电子从高电子能级跳返回低电子能级时，便以闪光的类型来释放出来不必要的动能，因为光的频率不一样便会令人见到不一样的色调！
若碰撞电子的动能充足高，电子消化吸收的动能就可以使其摆脱核的拘束而变成随意电子，也就是分子发生了水解。电子对分子 XY 的碰撞还可以使之转化成X分子和Y原子（电离度）。若用“:”表明分子中的成键电子对，则电离度全过程可以表明为X:Y→X. .Y; 这就要含有未果对电子（用X和Y边上的标记·表明）的X，Y就非常容易产生化学变化，故被称作**化学活性种或是官能团（radical）。
电子碰撞分子XY造成激起、水解和电离度在等离子清洗机中H，O，CI等化合态的分子和CH3，CF2，SiH3等分子全是官能团。为了更好地确立他们没有正电荷的特性，大家称作中性化官能团，以与水解造成的正离子性官能团相差别起来。碰撞全过程的反应方程及其相对应的特性和运用见下表：
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