低温等离子体表面清洗机械经常会应用诸多不一样的汽体，如通常会应用o2、有害气体、氮和压缩空气等，还可以根据制作工艺要求运用氩气。那么为何要运用这类汽体，以及它在等离子清洗机机械设备中的功能性是什么？

氩气是一种惰性气体，根据水解反应之后的等离子不易与板材造成化学反应。在等离子清除中，氩气主要是应用于与板材表面的物理学清除及表面粗化。因而氩气等离子清洗机被普遍使用于半导体业、光电子器件行业及晶圆制造领域等。

一、表面清除

在圆晶、夹丝玻璃等产品表面细颗粒物的清除整个过程中，通常会采用等离子对原料表面的细颗粒物进行负电子，开展进行对细颗粒物的分散和松动处理，接着再进行离心式风机清除等处理工艺，会有着显著的实际效果。在半导体封装应用中特别是在显出，在根据打线制作工艺后为防止电力线路氧化，需采用氩等离子或氩低温等离子体对产品表面进行等离子清洗，完成更好的产品处理实际效果。

二、表面粗化

等离子清洗机的表面粗化解决也称作表面离子注入处理，其主要目的是提升原料的表面表面表面粗糙度，进而提升原料的黏合、印刷包装和电焊焊接等特点。其他活力汽体经生产加工解决后也可提升产品表面承受力，但氩离子化导致的细颗粒物要更重，在电场的作用下氩共价键的机械动能较高过其他活力汽体，因而其粗化实际效果更号。氩气在无机物表面粗化的过程中应用更加广泛，如夹丝玻璃家具板材的表面处理、金属材质家具板材的表面处理等。

三、氩气

在等离子清洗机的表面活力及清除中，混合气体相对来说可以得到更强的处理实际效果，较多见的是氩和氧的混和化学物质。且由于氩的相对分子质量大，水解反应后建立的细颗粒物比较重，在电场的作用下氩共价键的机械动能高过其他活力汽体，其实际效果更显著。

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