洁净室的压力差便是洁净室与周边室内空间所务必保持的静压差,必需的压力差是操纵漏汽方位的方式,是一切正常作业的主要标准。电子光学领域的洁净室为了确保洁净度,不允许低洁净度的气体向高洁净度地区泄露。
为了更好地操纵地区中间的漏汽方位,针对地区中间的气压差有较严苛的规定。一般要求洁净室内的气压高过户外、或规定皮内瘤洁净室的气压高过低等其他洁净室、或规定房间的气压小于户外。工业生产洁净室和一般生物洁净室全是选用保持正压力。针对应用有害、有害物质或应用易燃易爆物品**溶剂或有高烟尘实际操作的洁净室,生产制造致敏物药物、基酶药品的生物洁净室及其别的有特别要求的生物洁净室必须保持空气压力。因此测量洁净室的气压差很重要。 洁净室压力差检验的效果是为了更好地测量洁净室的静压差,它可以是正压力或空气压力,以避免洁净室内(外)气旋间被环境污染。
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