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芯片开封也就是给芯片动手术,依据开封我们可以具象化的观查芯片的內部结构,开封后可以结合OM深入分析样品现状和可能导致的原因。开封的寓意:Decap即开封,也称开启表盖,开帽,指给详尽封装的IC做一部分浸蚀,促进IC可以曝露出去,此外保持芯片功效的完好无缺, 保持 ** , bond pads, bond wires乃至lead-不容易遭受危害, 为下一步芯片失效分析实验做准备,方便快捷观查或做其他检验(如FIB,EMMI),Decap后功效一切正常。 开封范围:一般封装 COB、BGA、QFP、 QFN、SOT、TO、 DIP、BGA、COB 陶器、金属复合材料等别的与众不同封装。开封方法:一般的有分析化学(Chemical)开封、工业设备(Mechanical)开封、激光发生器(Laser)开封、Plas ** Decap 开封实验室:Decap试验室可以处理几乎一切的IC封装方法(COB.QFP.DIP SOT 等)、打线类型(Au Cu Ag)。
纤维材料的环氧树脂胶体在热的硫酸(98%)或浓硫酸作用下,被浸蚀变成可溶解二甲苯的低分子结构化学物质,在**音波作用下,低分子结构化学物质被清除掉,从而露出芯片表层。开封方法一:取一块不锈钢型材,铺平一层薄薄的河砂(也并不加沙产品马上在碳钢板上升温),放进热处理炉上升温,砂温要达100-150度,将产品放进碎石子上,芯片正面方向往上,用一次性吸管吸取少量的发烟硝酸(浓度值值>98%)。滴在产品表面,这时环氧树脂胶表面起化学反应,且发生气泡,待体现稍止再滴,那般连滴5-10滴后,用医用镊子夹到,放入装满二甲苯的烧杯中,在超声波机中清除2-5分钟后,取出再滴,如此持续,直到露出芯片才行,最后尽量以干净整洁的二甲苯持续清除确保芯片表面无残余物。 开封方法二:将所有产品一次性放入98%的盐酸中煮沸。这类方法对于量多且只要看芯片是否裂开的情况较合适。缺点是应用较风险性。要掌握关键点。开封注意点:所有一切操作过程均应在通风柜厂家中进行,且要戴好耐腐蚀胶皮手套。产品开帽越到最后越要少滴酸,勤清除,以避免过浸蚀。清除阶段中注意医用镊子勿碰到擅木和芯片表面,防止擦伤芯片和擅木。根据产品或分析要求有的开帽后要露出芯片下面的导电胶带.,或者*二点.除此之外,有的情况下必须将已开帽产品分配重测。这时应较开始放进80倍显微镜下观查芯片上擅木是否断,塌丝,如无则用刀片刮去管脚上灰黑色粘膜后送测。注意控制开帽溫度无须太高。分析中普遍酸:盐酸。这里指98%的盐酸,它有较强的脱水性,吸水能力和氧化性。开帽时用以一次性煮许多的产品,这里应用了它的脱水性和强氧化性。稀硫酸。指37%(V/V)的盐酸,有较强的挥发性**物,氧化性。分析中用以去除芯片上的铝层。发烟硝酸,指浓度值数值98%(V/V)的氰化钠。用以开帽。有较强的挥发性**物,氧化性,因溶物NO2而呈浅褐色。盐酸,指一容量硫酸和三容量稀硫酸的混和成分。分析中用以腐**金球奖,因它浸蚀很强可浸蚀金。
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