在工业CT设备条件允许的情况下，通过探元尺寸、探测器尺寸、工件尺寸可获得工件的工业CT检测精度。
假设探元尺寸为100μm，探测器尺寸为300mm×300mm，工件直径100mm；
要使得放大倍数较大，则工件尽量靠近射线源使得工业CT图像充满探测器平面，所以放大倍数近似为300mm/100mm=3，于是检测精度近似为100μm/3≈33μm。
以上检测精度的评估是对于简单工件而言，如果要对工件的局部区域进行检测，则需视工件情况选择工件摆放方式，以及检测方法，检测精度则以现场测试结果为主。
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