洁净度检测是洁净车间性能测试的核心，气流测试、压力测试等都只能在确认洁净车间的洁净度不受影响后才能正常进行。
洁净车间洁净度的检测步骤1. 确定系统的测试调整与平衡已完成，并已修复破损部分。
2. 确认测试位置与测试点数。
3. 取样时间：
每点的取样时间依照等级与粒径不同而变化，若是取样时间小于1分钟，则应以1分钟为准。
4. 测试位置应均匀分布在洁净车间内，
避免在产生大量粒子的附近，而且仪器应用架台支撑，不可以用手支撑。
5. 测量出的点数用公式计量。
洁净车间洁净度的验收标准
洁净度的验收标准分两点：
1.每点的微粒测量平均值应低于规定值；
2.任一隔间若需使用分析，则该分析值也应小于规定值。
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