*的用旋片式真空泵串接扩散泵即可.
泵的抽速选择,由真空室大小以及真空确定.

一般是两台旋片式真空泵+一台扩散泵组成.

一台旋片式真空泵直抽真空室,另一台抽扩散泵.
当真空室到5Pa以下,并且扩散泵预热后,
切换到扩散泵抽真空室.因为扩散泵有冷阱,所以泵油不会污染真空室.
假如有钱,就用分子泵代替扩散泵.不用预热.
并且彻底无油.

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