一般工艺流程：

预冷冻阶段：先将物料中的水分冻结成冰，使干燥后的物料与干燥前有相同的形态。预冷冻温度必须低于物料的共晶点温度。

升华干燥阶段：**阶段干燥。 预冷冻后抽真空，此时物体中的水分由冰直接升华为蒸气。因气化过程吸收热量，此时应通过搁板给予加热。由于干燥箱与冷凝器之间存在压差，使水蒸气不断进入冷凝器，升华连续进行，直至升华阶段结束。此过程中，温度和压力应控制在物体的共晶点以下，才不致使冰融化。

解析干燥阶段：有的情况，需要进行*二阶段干燥。有的物体中含吸附水（比如物体内部毛细管壁上、极性基因上吸附的水），此水分不被冻结。为除去这部分水，要供给足够的热量，使物体升温，只要不造成其因过热而变质即可（一般较高可达30-50℃），此时也是真空环境。

真空冷冻干燥只是冷冻干燥的其中一种方法，但因为真空冷冻干燥应用更为广泛， 尤其在学校和科研单位，所以经常将冷冻干燥与真空冷冻干燥混为一谈。

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