为了统一洁净室的空气洁净度等级、各类技术要求，**都陆续制定了各自的洁净室标准，*的美国之音FS209标准便是从1963年开始制定发布实施的，到1992年已从209A不断修改变化为。洁净室标准是源于各类产品生产工艺技术、产品性能的不断研究开发、升级和各种使用要求，对空气洁净度及污染物的控制要求不断变化、提高，尤其是半导体集成电路的高速发民是洁净度等级的扩大和控制微粒粒径日益严格的重要标志；洁净室标准也源于洁净技术的研究开发和发展。因此洁净室标准的实施，对洁净室的设计建造和运行具有重要性、实用性，它的统一技术要求，严格的技术条件规定，统一的检测方法以及明确、严格的安全技术规范，都已成为建设洁净室工程的主要依据。

由**国际标准化组织ISO/TC209洁净室及相关受控环境技术**编制的“洁净室及相关受控环境”标准系列，已先后发布了ISO14644-1至ISO14644-8与ISO14698-1、ISO14698-2;我国的全国洁净室及相关受控环境标准化技术**等同采用上述国际标准，并以GB/T25915.1~GB/T25915.8与GB/T25916.1~GB25916.2发布实施，其名称和编号如下：

GB/T 25915.1-2010/ISO14644-1:1999 1部分：空气洁净度等级

GB/T 25915.2-2010/ISO14644-2:2000 2部分：证明持续符合ISO14644-1的检测和监测技术条件

GB/T 25915.3-2010/ISO14644-3:2005 3部分：检测方法

GB/T 25915.4-2010/ISO14644-4:2001 4部分：设计、建造、启动

GB/T 25915.5-2010/ISO14644-5:2004 5部分：运行

GB/T 25915.6-2010/ISO14644-6:20076部分：词汇

GB/T 25915.7-2010/ISO14644-7:2004 7部分：隔离装置

GB/T 25915.8-2010/ISO14644-8:2006 8部分：空气分子污染分级

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