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无尘洁净室风量的要求及检测方法

无尘洁净室风量的要求及检测方法

洁净室风量要求 洁净室的送风量一般按换气次数来计算:1000级的大于等于50次,10000级的大于等于25次,100000级的大于等于15次,100级的按送风截面风速0.2-0.45m/s,送风量就是换气次数乘以洁净室体积。

空调房间送风量应由如下几个因素综合决定:

(1)满足洁净度要求需要较小换气次数所需的风量:L=n*V(n换气次数,V房间体积);乱流洁净室要保能维持某一洁净级别,必须要保证有足够的换气次数,用送入的洁净空气“稀释”洁净室内人员或“尘源-设备”产生的微粒等。

(2)满足层流洁净室较低“截面风速”所需的风量:L=3600v*F*(1+r)(v风速,F截面积,r衰减系数),全层流洁净室r=0,局部层流应计算衰减率。工作台面较低层流风速是保证层流洁净室的关键指标,风量设计应首先考虑满足工作台面截面风速的较小送风量。

(3)满足克服房间“热负荷”所需考虑的较小风量:L=3600Qq/ρ(hn-hs)=3600Qx/ρc(tn-ts)(Qq、Qx室内全热负荷或显热负荷;hn、hs送风、室内空气焓值;tn、ts室内、送风温度;c比热容;ρ空气密度)对余热特大的房间,应提供足够的风量消除室内的余热。

(4)满足克服房间“湿负荷”所需考虑的较小“送风量”:L=1000G/ρ(dn-ds)(G室内散湿量,dn、ds室内、送风含湿量)。对“余湿量”特大的房间,应提供足够的风量消除室内“余湿”。

根据房间的功能,针对实际情况选取初步估计的较大条件计算风量,如无确切把握时,用可能**出预估值的条件去校核计算值,如经计算“校核值”确实比“初步估计值”大,则选取“校核值”。


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