真空部件的选择 选择原则 与真空度要求适合 与系统温度要求适合 与系统工作过程的化学要求匹配

造价低 尽量选择标准件

优点：

1.不需要前级泵 2.关闭电源后，仍有抽气作用， 用于维持真空 3.耐用

缺点：

1.饱和效应明显，只能用于小负载 2.脱气 3.对气体有选择性，钛的吸附能力决定

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