矢量网络分析仪，它本身自带了一个信号发生器，可以对一个频段进行频率扫描. 如果是单端口测量的话，将激励信号加在端口上，通过测量反射回来信号的幅度和相位，就可以判断出阻抗或者反射情况. 而对于双端口测量，则还可以测量传输参数. 由于受分布参数等影响明显，所以网络分析仪使用之前进行校准。

在微波电路的设计和计算中，需要对所用元、器件特性的全部网络参数进行全面定值。而微波元、器件中，包括微波晶体管，大多采用S参数（散射参数）来表述它们的特性。一般二端口网络需要有四个散射参数（S11、S22、S12和S21），才能对其全面定值。因此往往采用测量的方法来确定网络的参数。

20世纪60年代中期，出现能在宽频带范围内扫频测量并能显示全部网络S参数的模值和幅角的多功能仪器，这就是微波网络分析仪。因此网络分析仪的基本部分实际上就是一台S参数测量仪。方框图如图2所示。