聚对二甲苯成膜原理如下：固态环二体原理吸热升华，形成气态，在真空泵的抽力作用下，进入裂解炉，在690度左右下，环二体的两条C-C链断开，形成具有两个悬空键的游离基团，由于电子配对作用的吸引，具有两个游离基团的单分子聚合，形成线性高分子，聚合度可达5000左右。

聚对二甲苯是由Specialty Coating Systems( Indianpolis, IL)公司提供的标记聚对二甲苯基家族聚合物的一种化学名称，是初发明聚对二甲苯的UnionCarbide公司认可的命名。商业上存在一些聚对二甲苯的替代物，它们的成分和聚对二甲苯一致，只是在合成路径上因初始二聚体(对二二聚物)而有不同。

气相沉积法:摩尔比的对二与水蒸气在高温下作用产生对二双自由基，然后导入90 °C左右的惰性溶剂中进行吸收、蒸发溶剂浓缩降温、结晶、过滤得对二二聚体([2.2]对环芳)，精制后，将该二聚体进行高温裂解产生双自由基，再导入成膜室在成膜物体表面冷凝并迅速聚合，得到均匀致密的聚对二甲苯薄膜。

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