高纯氩气的国家执行标准是GB/T10624—1995，质量要求达到99.999%以上。

       氩气是采用空气分离提氩，即将液化的空气进行精馏,得到粗氩.抽出粗氩,经进一步提纯可得到高纯氩，高纯氩在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体；可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体；在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩也可作为色谱载气.氩被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管；焊接保护气；在钛、钴和其他活性金属的生产中用作屏蔽气；在黑色冶金中用于吹炼特种钢。

       液氩是将高纯氩气压缩成液态气，储存于杜瓦罐中。液氩使用时放出的是气相的，液氩储存在杜瓦罐中会有一个自然增压的过程，当它的压力过高时杜瓦罐会进行安全泄压，在这个自然增压和泄压的过程中，氩气很容易就被释放了。

氩气在一定的条件下会对人体造成伤害，高纯液氩如果发生泄露对人体的危害将会更大，因此在使用高纯液氩的时候一定要按照规范的程序来，如果随意的操作较容易对人体造成不可挽回的损伤，在操作的过程中切忌随意使用，随意操作。

高纯液氩较易挥发，在使用的过程中要保持密封的，将其放置在通风条件良好的地方，防止其泄露后产生的气体散发到工作环境中。当空气中的氩气含量过高可能会导致氧气的含量降低，当低于19.5%的时候就会引起人体窒息。在氩气储备的地方常备呼吸面具就成为必不可少的装备。

高纯液氩在运输过程中是禁止与可燃性气体同时运输的，明火和热源禁止接触液氩，只有规范化的操作才能保证安全。

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