2020中国国际靶材技术及应用展

2020中国（上海）国际靶材技术应用论坛暨展览会

China (Shanghai) International Target Material Technology BBS and Expo 2020

同期展览：*十六届国际真空应用技术展览会

展览时间：2020年5月25-27日

展览地点：上海光大会展中心（上海市漕宝路88号）

展出面积：10,000平方米

展商数量：350家

观众数量：35,000人次

影响**：**20多个国家和地区千家行业合作媒体全面推广、全程报道，尊享品牌会展的影响力

同期活动：同期召开多场技术研讨会及活动吸引用户及本行业人士莅临交流

参展范围：

■ 靶材：溅射靶材、金属靶材、合金靶材、陶瓷靶材、合金靶材、单晶靶材、氧化物靶材、硼化物靶材、

碳化物靶材、贵金属靶材、稀有金属靶材（钛、铌、锆、镍、钽、钨、钼、铪、铬、银等），单一金属靶

材、蒸发材料、特种靶材等各类靶材；

■ 镀膜材料：金属膜料、氧化物、氟化物、硫化物、钛酸物、混合物等各种膜材、镀膜蒸发料；PVD涂

层、TiN涂层、TiC涂层、TiCN涂层、ZrN涂层、CrN涂层、MoS2涂层、TiAlN涂层、TiAlCN涂层、

TiN-AlN涂层、CNx涂层、DLC涂层、ta－C涂层等多元复合涂层；

■ 低温**导薄膜：低熔点**导薄膜：低熔点**导薄膜，合金薄膜；高熔点**导薄膜：难熔金属，合金薄膜；化合物**导薄膜： NbN和Nb3Sn、Nb3Ge薄膜；高温**导薄膜；钇系薄膜、铋系薄膜和铊系薄膜；

■ 功能薄膜：光学薄膜，背光/显示用膜，显示屏用膜，产业用薄膜，光伏薄膜；

■ 镀膜设备：真空镀膜机、真空蒸镀设备、光学镀膜机、溅射镀膜机、眼镜镀膜机、光纤镀膜、CVD设备、MOCVD设备、薄膜沉积设备、玻璃镀膜设备、磁控镀膜、蒸镀设备、离子束沉积设备、电子枪、离子源；蒸发沉积掩膜、晶振片、镀膜夹具、配件、仪器、镀膜测试与监控设备、膜厚监测仪、镀膜牢固度测试器等；

■ 镀膜材料生产加工设备：冷等静压机，热等静压机，磁控溅射热蒸发，铜带铜铟硫技术与设备，高温钎焊炉，烧结炉，中频感应炉，电子束区熔炉，电子束熔炼炉，大面靶材钎焊炉，高温真空热压炉，轧机等；

■ **导器件：**导隧道器件，**导**干涉器件，

■ 薄膜成型机械、检测检验仪器、特殊装置、薄膜原料及化工产品；

■ 洁净工程：洁净、防护系统，屏蔽防护产品、屏蔽机房设备、屏蔽桌/台/柜，安全防护服、洁净室耗材、防静电产品等；

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