四路质子混气管式PECVD 本炉子分为四大部分：开启式管式炉，等离子射频电源（50-500w），真空泵和阀门、质子流量计。 该炉在传统PECVD系统基础上实现了快速加热、冷却功能，该炉底部安装了一对滑轨，可手动滑动。采用双层壳体结构。该炉安装有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源，有效地保证使用者。加热和冷却速率可达100℃/min。为取得快速加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得快速冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10℃/S,是低成本快速热处理的理想炉。 四路质子混气管式PECVD系统为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的红心过来促进反应，因而这种CVD成为等离子体增强化学气相沉积（PECVD）,内炉膛采用国内较先进的氧化炉陶瓷纤维可以提高设备加热效率，同事也可以延长仪器的使用寿命。 主要特点：虽环境温度在100-300℃，但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解，离解和离化，从而大大提高了反应物的活性。因此，这些具有反应祸心个点中性物质很容易被吸附到较低温度的基本表面上，发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜。 PECVD法是用500w交流等离子体与60*1200、多通道精密质量流量计和高真空系统气体组成。 实验机理：辉光放等离子体重，电子密度高，电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100 技术参数： 1.额定温度：1100℃ 2.上限温度：1200℃ 3.电压：220V 4.加热元件：瑞典Kanthal-A1电阻丝 5.热电偶：K型 6.温控方式：智能化30段可编程控制 7.加热段：220mm+220mm 8.升温速率：≤30℃/min 推荐升温速率：≤15℃/min 9.射频电源：输出功率：50-500w可调±1％ 稳定性 频率：13.56MHz±0.005％ 噪声：﹤50dB 冷却：空气冷却 输入功率：AC 220V，500W 10.真空泵和阀门：采用KF25系列波纹管和精密球阀连接 真空度可达10ˉ³pa 数字真空压力表可直观的显示数值 11.质量流量计：内部装有高精度数字显示质量流量训科准确的控制气体流量 气体流量范围为0-200sccm，误差：0.02％ 一个气体搅拌罐上安装了液体释放阀的底部情况 不锈钢针阀安装在左侧可手动控制混合气体输入的数量 进气口：采用标准双卡套接头 混气管式PECVD系统是为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，环境温度在100-300℃，但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解、离解和离化，从而大大提高了反应物的活性，这些具有反应活性的中性物质很容易被吸附到较次温度的基本表面上，发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜，因此这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）。 设备可在片状或类似形状样品表面沉积SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、纳米硅、SiC、类金刚石等多种薄膜，并可沉积p型、n型掺杂薄膜。沉积的薄膜具有良好的均匀性、致密性、粘附性、绝缘性。广泛应用于刀具、高精模具、硬质涂层、高端装饰等领域。 多晶纤维炉膛，节能耐腐蚀重量轻、升温速度快、节能、省时、耐高温、耐腐蚀、保温性好，能满足何种快速烧结的要求。炉管采用高纯度石英玻璃材料工艺加工具有较低的热膨胀系数、耐高温、化学稳定性好、电绝缘性好。双层内胆炉壳，配有风冷系统，快速升降温整个炉体采用双层内胆式结构，中间有气隙隔离，即使炉膛温度高达1200℃，炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。法兰采用双环密封技术有效的提高了法兰的气氛性，法兰上装有多种接头，可接电阻真空计、真空波纹管并能做成容易撤卸的铰链式。内嵌式合金电热丝，升温快，寿命长加热元件采用优质内嵌式合金电热丝，发热效率高、耐高温、抗氧化、耐腐蚀、升温快、寿命长、高温变形小、安装维修方便，使用寿命长。微电脑PID控制器，操作简便操作简便，控温、可靠、安全多段可编程控制，可以简化复杂的试验过程，真正实现自动控制和运行。炉体配有：输出电压和输出电流监测表，炉子加热状态一目了然。真空系统采用高真空分子泵组，性能** 性能可靠：整体型复合转子，强度高、性能稳定； 洁净无油：采用脂润滑精密陶瓷轴承，无油蒸汽污染。 管式炉系统 炉管尺寸 直径60mm 加热区长度 205mm、350mm、440mm(更多规格可按照客户要求定制) 正常工作温度 1100℃ 工作温度 1200℃ 加热元件 掺钼合金加热丝 炉膛材质 采用日本进口炉膛材料，不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡，抗热涨冷缩能力强 控温方式 智能化30段可编程控制（用户可选配液晶触摸屏显示） 真空系统 高真空分子泵组，高真空复合真空计 前级泵2升每秒，分子泵600升每秒 采用KF25系列波纹管和真空挡板阀连接 质子流量计 高精度质量流量计可准确的控制气体流量 气体流量范围为0-500ＳＣＣｍ 误差为0.02% 出气真空压力表，内置气体混气系统， 不锈钢针阀计管道，标准双卡套接头 射频电源系统 输出功率 50-500W可调±1% RF频率 13.56MHz，稳定性±0.005% 噪声 ≤55DB 冷却 风冷 输入功率 1KW AC 220V 提供相关配件 气炼石英炉管、真空法兰、高温手套、坩埚钩、热电偶、防烫罩、刚玉坩埚、炉塞 电气认证 CE认证 售后服务 12个月质保、终身保修
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