在建筑机械、路面机械、港口机械、起重机械等工程机械领域中 , 为了达到机械状态监测和姿态控制的目的 , 要求倾角传感器能精确测量某平面相对水平面的倾斜角度。倾角传感 器用于操作动作频繁、露天等环境恶劣的场合 , 因此在响应速度、可靠性、体积、稳定性、使用寿命和成本方面要求很高。基于 MEMS 加速度传感器的倾角传感器采用体积小、功耗低、响应速度快和高可靠的传感元件 , 已经广泛应用于工程机械领域。然而此类倾角传感器均存在零位偏差 , 如果不对倾角传感器进行零位偏差补偿 , 将会影响倾角传感器的精度。 倾角传感器的测量原理 在微加速度传感器中, 通过测量力或位移来得到加速度。而测量力或位移的方法有很多 , 根据不同的检测方法 , 可将微加速度传感器分别称为压阻式、电容式、谐振式、伺服式和隧道式加速度微传感器。 电容式加速度微传感器具有灵敏度高、直流响应和噪声特性好、温漂低、低温灵敏度好、功耗低等优点, 因此采用MEMS 传感器作为微加速度传感器。其敏感元件的简化结构。当传感器感受到加速度作用时 , *较板随弹性梁向固定较板的一端移动 , 使两较板电容值不相等 , 即 C S1

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