镀膜的环境试验

一般情况下，薄膜制备工艺决定了薄膜都具有柱状的微结构，该结构使薄膜内部存在一定空隙，并造成薄膜器件光学特性和机械特性的不稳定，因此对某些在特殊环境下使用的薄膜必须进行各种环境试验。

1.恒温恒湿试验。它是较常规的环境试验。一般在相对湿度95%，温度为55度的环境下存放6-24小时；或在40度以下存放10天；或在室温至80度的环境下做多次循环试验，然后检测薄膜样品在试验前后的膜层的机械和光学特性的变化。例如：对于要求较高的窄带滤光片，就要进行恒温恒湿试验，然后测试其透射率峰值的位置变化及峰值大小的变化。

2.液体浸蚀。一般是在室温下将薄膜样品浸泡在每升含45g盐的溶液中，或根据用户要求在稀释的酸或碱溶液中浸泡6-24小时，试验后测试薄膜的光学特性和机械特性，并与试验前测的数值进行比较。

3.温度试验测试。薄膜的热膨胀系数一般比基底的热膨胀系数大一个数量级，加之膜层存在的内应力，从而在高温度情况下，使膜层与膜层之间可能形成位错，因此薄膜在高温度下使用时，必须经过烘烤试验。

4.耐冷及耐辐射等特殊的环境试验。对于某些特殊应用的薄膜器件，还是根据实际使用要求进行各种环境试验。如在太空中应用的薄膜器件，环境温度的变化非常大，因此在温度试验中一般要求温度的变化范围很大：-40度-80度。此外由于宇宙中各种高能射线的辐照，也会减低光学薄膜器件的使用寿命。为了正确估算在太空中应用的光学薄膜器件的寿命，必须对光学薄膜器件进行辐照试验。

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