(1)机械式真空泵

在各种真空设备中，凡使用机械运动(转动或滑动)不断改变泵内吸气容腔的容积而获得真空的泵常称机械真空泵。机械式容积真空泵靠机械运动使泵腔工作容积周期变化，来实现抽气作用的是机械式容积真空泵。属于这类泵的有往复式真空泵、旋转式机械泵(包括旋片式、螺杆式、罗茨式、液环式等)。这类泵中除机械增压泵外，一般均可单独使用。

此外，分子泵也是一种机械真空泵。它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。

(2)射流式真空泵

喷射真空泵是由喷嘴、吸入室、扩压管三部分组成。其本身没有运动部件，利用流体传递能量和质量。它利用具有一定压力的工作流体通过喷嘴高速喷出，通过能量转换，在喷嘴出口形成真空，从而将被抽介质吸引出来，两股介质在扩压管内进行混合及能量交换，最后以略高于大气压而排出。属于这类泵的有水蒸气喷射泵、空气喷射泵、水喷射泵以及各种扩散泵等。

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