在一定空间范围内，将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在 某一需求范围内的工程学科。净化工程所特别设计的房间，不论外在空气前提如何变化，室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等机能。
控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中出产、制造。此空间的设计施工过程即可称为净化工程。


	乱流式
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式合用于洁净室等级1,000-100,000级。
长处：构造简朴、系统建造本钱低，洁净室的扩充比较轻易，在某些特殊用途场所，可并用无尘车间，进步洁净室等级。
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统休止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相称长一段时间。


	层流式
层流式空气气流运动成一平均之直线型，空气由笼盖率**之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式合用于洁净室等级需定较高的环境使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：
(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严峻。


	长处：构造简朴，运转后短时间内即可变成不乱。
缺点：建造用度比乱流式高，室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式：房间天花板*以ULPA过滤器笼盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作职员所产生的尘埃可**排出室外而不会影响其它工作区域。
长处：治理轻易，运转开始短时间内即可达不乱状态，不易为功课状态或功课职员所影响。
缺点：构造用度较高，弹性运用空间难题，天花板之吊架相称占空间，维修更换过滤器较麻烦。


	复合式：
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部**洁净之空气。
(1)洁净地道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域**笼盖使洁净度等级进步至10级以上，可节省安装运转用度。此型式需将功课职员之 工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。
洁净地道另有二项长处：A.弹性扩充轻易； B.维修设备时可在维修区等闲执行。
(2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经由的自动出产线包抄并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和功课员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁 净度，可节省能源，不需人工的自动化出产线为较相宜使用。药品、食物业界及半导体业界均合用。
(3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级进步为10~1000级以上，认为出产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。


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