(1)臭氧发生器的电极电压  对单λ电极表面积来说，臭氧产率与电极电压的平方成正比，因此，电压愈高，产率愈高。但电压过高很容易造成介电体被击穿以及损伤电极表面，故一般采用15～20kV的电压。

(2)臭氧浓度臭氧的产生浓度随电极温度升高而明显下降。为提高臭氧的浓度，必须采用低温水冷电极。

(3)交流电频率提高交流电的频率可以增加单λ电极表面积的臭氧产率，而且对介电体的损伤较小，一般采用50～500Hz的频率。

(4)介电常数单λ电极表面积的臭氧产率与介电体的介电常数成正比，与介电体厚度成反比。因此应采用介电常数大、厚度薄的介电体。一般采用1～3mm厚的硼玻璃作为介电体。

(5)原料选用  原料气体的含氧量高，制备臭氧所需的动力则少，用空气和用氧气制备同样数量的臭氧所消耗的动力相比，前者要高出后者一倍左右。原料选用空气或氧气，需做经济比较决定。

(6)水分和尘粒  原料气中的水分和尘粒对反应过程不利，当以空气为原料时，在进入臭氧发生器之前必须进行干燥和除尘预处理。空压机采用无油润滑型，防止油滴带入。干燥可采用硅胶、分子筛吸附脱水，除尘可用过滤器。

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