由于不锈钢表面氧化膜的存在，使一般的气体渗氮很难进行。虽然表面活化处理后的不锈钢可以进行气体渗氮处理，但是工序复杂，不易控制，所以人们逐渐采用了一些新的渗氮工艺技术。离子渗氮技术就是其中应用较广的一种。常规离子渗氮是在 500～560℃温度下的N2和H2或NH3混合气氛中进行的。由于离子渗氮能直接去除不锈钢表面的钝化膜，并易于实现局部渗氮和较容易控制氮势，在不锈钢表面强化方面显示出较大优越性。对一些马氏体不锈钢进行离子渗氮的结果表明，离子渗氮可有效地在不锈钢表面形成一定厚度的渗氮层，而不需要进行去除氧化膜的预处理。渗氮后的不锈钢硬度和**性均有显着提高。但是常规的离子渗氮容易在不锈钢表面形成CrN而使基体出现贫铬，进而降低不锈钢的耐蚀性。所以，尽管经离子渗氮处理后不锈钢的表面硬度、**性和抗擦伤、抗胶合能力有大幅度提高，但若处理不当，容易发生表层剥落、硬化层(渗氮层) 厚度不均匀以及耐腐蚀性大幅下降等质量问题。
为了避免高温下形成CrN，损害不锈钢固有的耐蚀性，**发展低温处理方法。上世纪80年代研发了等离子体低温渗氮研究，很好地解决了奥氏体不锈钢经处理后耐蚀性降低的技术难题。该技术的关键是在低温下(350～450℃) 进行，以避免形成CrN而使基体贫铬后耐蚀性下降。
尽管低温渗氮技术克服了渗氮后不锈钢耐蚀性下降的问题，但离子渗氮也有其本身的缺点，如边界效应、空心阴极效应，以及工件温度不均等。为了克服离子渗氮的缺点，人们开发了活化屏离子渗氮技术。在活化屏渗氮技术中，工件处于悬浮状态，离子轰击金属屏而不是工件本身。与常规离子渗氮相比，该技术可以处理不同形状的工件，并能消除边缘效应以及空心阴极效应，还能方便地测量工件的温度。对 AISI 420马氏体不锈钢的活化屏渗氮行为的研究表明，新工艺不仅消除了边界效应，而且具有更高的渗氮效率，同时还可以*消除由边界效应引起的腐蚀环。
与渗氮相似，对不锈钢进行渗碳处理也可分为气体渗碳和离子渗碳两大类型。传统气体渗碳温度很高，一般在800～1000℃，所以对不锈钢很少使用，主要采用低温离子渗碳技术。低温离子渗碳处理通常在550℃以下进行，所用气体为H2和CH4或C2H2的混合气体。
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