能工业和精密机械及电子工业的需要发展了污染控制及净化技术。特别是1957年前苏联*
——颗人造卫星发射成功,**丁美国**,促使美国加快了宇航工业的发展速度,由此
也带动了污染控制技术的研究和发展。洁净技术包括工业洁降技术和生物洁净技术两大类
洁净室。前者以控制非生物微粒的污染为子要任务,后片则以控制生物微检的污染为:重
要任务。
核工业、电子工业、精密仪器利精密机械制造等许多]:业部门部需要生气洁净技术。
例如在核反应堆、核燃料制造或处理装置、放射化学操作及其他核操作过程中都要洁净室
产生放射件气体和放射性粒子。为了保护周围居民和设备远行人员免受放射性气体祁料子
的危害,核空气洁净系统足必不可少的。这种治净系统的特点是具有较高的污染物捕集效
率,洁净室因此代价也非常高。
现代电子工业的*发展,使Ic(集成电路)的微纫加工技术口趋精密与赵微型化。发
达国家所加工的较小图形尺寸(线条宽度)已达2—3ftm,甚于达到lym。大规模集成电路(1
,sI)和**大规模集成电路(VtsI)的集成度已达到64K和256K、1M、4M。有害的华埃粒子直
径一般认为是加工尺寸的1/5—1/10,因此,在VI。S[制作过程中,为广提高产品的成品
率、质量和uJ靠性,被控制尘埃粒径应为o.1Pm。随着产品集成度提高而使用精细的dn I
:尺寸以及I:序的增An,由于附着异物引起的产品不合格率将急剧广升*因此,应用洁净
技术的洁净厂房在该领域户是非常重要的。
现代生物洁净技术是在工业洁净技术的苯础广发展起来的。**个生物洁净室是1966
年1月在美国建立的。现在生物沽净室已广泛用于宇航业、洁净室医学、制药、牛物实验、
遗传工程和食品工hIL等各方面。
在医学方面,洁净室千要用于做心脏、脑外科、脏器移植等深部手术的手术室;**
白血病患者、重烧伤病人以及其他对于感染缺乏抵抗力恩有的**室以及需要在无菌条件
下进行操作的血液工作室等。如白血病患者,其体内的白细胞大量是幼稚型胞,洁净室严
重丧失对感染的防御能力,因此在**期间防止感染是相当重要的。
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