2、臭氧产量：即臭氧的产率，以小时为单位臭氧的发生量。计量单位：mg/h、g/h、kg/h。浓度×流量≈产量。
3、臭氧浓度：单位体积内臭氧的含量。计量单位：mg/L，mg/m3，ppm。
4、水溶臭氧浓度：臭氧溶于水中，单位体积的臭氧含量。计量单位：mg/L、ppm。
5、空气应用臭氧浓度：用于空气消毒的臭氧浓度，一般在1～10mg/m3。
6、环境臭氧浓度：环境空气中所含有的臭氧浓度，环境质量标准规定的一二三级环境质量标准分别为0.12/0.16/0.2mg/m3。
7、电耗：不包含空气处理系统的情况下，臭氧发生器主机每产生1kg臭氧的耗电量。（该单位为评价臭氧发生器性能的指标，不同于设备的功率）。计量单位：kw·h/kgO3。
8、投加量：一定单位的液体或气体所投加臭氧的量。计量单位：g/m3、g/T。
9、单位放电面积的产量：放电介质单位面积内所产生的臭氧量，该指标为评价放电介质性能的指标。计量单位：g/m3。
10、露点：为空气干燥度的指标，空气在多少温度下开始出现结露现象。计量单位：℃。
11、进气流量：每小时进入臭氧发生器放电室中原料气体量。计量单位：m3/h。
12、出气流量：从发生器放电室中每小时排出臭氧化混合气体的流量。计量单位：m3/h。
13、进气压力：进入臭氧发生器放电室的原料气体的压力。计量单位：MPa。
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